อิเล็กทรอนิกส์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โครงการทำความสะอาดอุตสาหกรรมชิป
การประชุมเชิงปฏิบัติการการทำให้บริสุทธิ์ด้วยไมโครอิเล็กทรอนิกส์
การประชุมเชิงปฏิบัติการการทำให้บริสุทธิ์ด้วยแสงไมโครอิเล็กทรอนิกส์หรือที่เรียกว่าห้องทำความสะอาดไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัลหรือห้องสะอาดไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบออปติคัลปัจจุบันเป็นส่วนสำคัญของเซมิคอนดักเตอร์ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำการผลิตคริสตัลเหลวการผลิตเครื่องมือเกี่ยวกับแสงการผลิตแผงวงจรและโทรศัพท์มือถือคอมพิวเตอร์และอื่น ๆ อุตสาหกรรมสิ่งอำนวยความสะดวก.ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เนื่องจากการพัฒนานวัตกรรมทางเทคโนโลยี ความต้องการความแม่นยำสูงและการย่อขนาดผลิตภัณฑ์จึงเป็นเรื่องเร่งด่วนมากขึ้นตัวอย่างเช่น การวิจัยและการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษได้กลายเป็นโครงการที่ประเทศต่างๆ ทั่วโลกให้ความสำคัญอย่างยิ่งต่อการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีและแนวคิดการออกแบบและเทคโนโลยีการก่อสร้างของบริษัทของเราอยู่ในตำแหน่งผู้นำในอุตสาหกรรม
โซลูชันทางวิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ด้วยแสงและไมโครอิเล็กทรอนิกส์:
ในกระบวนการออกแบบโครงการการทำให้บริสุทธิ์ การวิเคราะห์และความเข้าใจเกี่ยวกับแผนการออกแบบทางวิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ของอุตสาหกรรมออปติกและไมโครอิเล็กทรอนิกส์ควรมีความเข้มแข็งตามโครงการที่เป็นโครงการใหม่หรือโครงการปรับปรุงโรงงานเก่า และรวมกับกระบวนการผลิตเฉพาะ กระบวนการผลิต และข้อกำหนดอื่น ๆ เพื่อกำหนดความต้องการความสะอาด อุณหภูมิ และความชื้นจากนั้น ตามสถานการณ์เฉพาะของโครงการ และในขณะเดียวกันเมื่อพิจารณาถึงความสามารถในการรับน้ำหนักทางเศรษฐกิจของผู้ผลิต ควรพิจารณาปัจจัยต่างๆ เพื่อกำหนดแผนการทำให้บริสุทธิ์ที่จะนำมาใช้โซลูชันที่ประหยัด ประหยัดพลังงาน และใช้งานได้จริง
วิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ด้วยแสงไมโครอิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปประกอบด้วย:
1. ทำความสะอาดพื้นที่การผลิต
2. ทำความสะอาดห้องเสริม (รวมถึงห้องฟอกบุคลากร ห้องฟอกวัสดุ และห้องนั่งเล่นบางห้อง ฯลฯ) ห้องอาบน้ำแบบมีแอร์
3. พื้นที่จัดการ (รวมถึงสำนักงาน หน้าที่ การจัดการ และการพักผ่อน ฯลฯ)
4. พื้นที่อุปกรณ์ (รวมถึงการใช้งานระบบปรับอากาศให้บริสุทธิ์ ห้องไฟฟ้า น้ำบริสุทธิ์และห้องก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ห้องอุปกรณ์ทำความเย็นและทำความร้อน)
หลักการทำให้บริสุทธิ์ทางวิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ด้วยแสงไมโครอิเล็กทรอนิกส์:
การไหลของอากาศ→ฟอกกรองอากาศเบื้องต้น→เครื่องปรับอากาศ→การกรองอากาศให้บริสุทธิ์ประสิทธิภาพปานกลาง→พัดลมแอร์ซัพพลาย→ไปป์ไลน์→ช่องระบายอากาศสำหรับกรองอากาศที่มีประสิทธิภาพสูง→พัดเข้าห้อง→ดักจับฝุ่น แบคทีเรีย และอนุภาคอื่นๆ→ม่านปรับแสง→การกรองอากาศอย่างมีประสิทธิภาพหลัก ทำซ้ำขั้นตอนข้างต้นเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ในการทำให้บริสุทธิ์
พารามิเตอร์การทำให้บริสุทธิ์ทางวิศวกรรมการทำให้บริสุทธิ์ด้วยแสงไมโครอิเล็กทรอนิกส์
จำนวนการระบายอากาศ: 100000 ระดับ≥15 ครั้ง;10000 ระดับ≥20 ครั้ง;1000≥30 ครั้ง.ความแตกต่างของแรงดัน: การประชุมเชิงปฏิบัติการหลักไปยังห้องที่อยู่ติดกัน≥5Pa
ความเร็วลมเฉลี่ย: 10 เกรด 100 เกรด 0.3-0.5m/s;อุณหภูมิ >16°C ในฤดูหนาว<26°C ในฤดูร้อนความผันผวน±2°C.
อุณหภูมิ 45-65%;ความชื้นของการประชุมเชิงปฏิบัติการผง GMP ประมาณ 50%;ความชื้นของเวิร์กช็อปอิเล็กทรอนิกส์จะสูงขึ้นเล็กน้อยเพื่อหลีกเลี่ยงไฟฟ้าสถิต
เสียงรบกวน≤65dB (A);ปริมาณเสริมอากาศบริสุทธิ์คือ 10% -30% ของปริมาณอากาศทั้งหมดไฟส่องสว่าง 300LX.
