HEPA ที่ใช้โดยช่องระบายอากาศที่มีประสิทธิภาพใช้องค์ประกอบตัวกรองทนน้ำมันประสิทธิภาพสูงและต้านทานน้ำมันต่ำแบรนด์ H14 ในประเทศผ่านสายการประกอบ origami ขั้นสูงในประเทศในการผลิตและการติดตั้งห้องสะอาด ประสิทธิภาพการกรอง ≥0.3um ฝุ่น ≥99.99% ( วิธีดักจับโซเดียม) เพื่อให้มั่นใจว่าความสะอาดของโต๊ะทำความสะอาดได้ถึง ISO5 (FEDERAL 209E100)
DOP/ ช่องตรวจจับความดันแตกต่าง ถังของเหลว วาล์วอากาศแบบควบคุมด้านล่าง ตัวกระจายลม หมุนวน และแผ่นกระจายลมอื่นๆทุกอย่าง.